Olympus MX61A技术参数

全自动半导体检查显微镜MX61A 规格

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射

照明装置

机身一体型(明视场、暗视场+1选件)

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

-

对焦单元

电动/手动

电动

行程

25.4 mm

分辨率/微调灵敏度

分辨率0.01 μm

最大样本高度

24 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉5孔

明暗视场微分干涉6孔

明暗视场微分干涉中心补正5孔

手动式

-

载物台

行程

14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm
8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm

观察筒

广角视场(视场数22)

倒置

-

正像

-

超宽视场(视场数26.5)

倒置

-

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

自动调焦/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

711(W)×853(D)×552(H)mm(标准组合)

重量

56 kg(标准组合)