奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜

奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜
奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜
  • 奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜
  • MX61A——自动化解决方案
  • 通过手持控制器,使用按钮操作显微镜
  • MX61A全自动半导体检查显微镜外形尺寸图
  • MX61A全自动半导体检查显微镜外形尺寸图

Olympus MX61A产品特性

  • 适合检查300mm样品的电动控制式显微镜。搭载了奥林巴斯Stream软件,可电动控制观察模式、照明强度、物镜、孔径光阑和载物台移动(可选)。主动式激光自对焦功能提高了检查精度和速度
  • 自动化解决方案
  • 主动式激光自动对焦
  • 先进的软件集成
  • 用于触摸控制的手持控制器
  • 提供扩展性的解决方案

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MX61A是一款专门设计的半导体显微镜,可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作,有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测,保证了工作的效率和产品一体化。

为用户提供最高的效率

满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。

正是牢记这一点,奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、更高效。同时,当将显微镜成功集成应用到生产线上,操作舒适性等人体工程学问题与晶圆安全问题就显得尤为重要,我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、平板显示器和电子设备等在内的多个行业,提供新构思、解决方案和技术支持。

MX61A

适合检查300mm样品的电动控制式显微镜。搭载了奥林巴斯Stream软件,可电动控制观察模式、照明强度、物镜、孔径光阑和载物台移动(可选)。主动式激光自对焦功能提高了检查精度和速度。

MX61A——自动化解决方案

MX61A——自动化解决方案

满足对自动化的需求

自动化控制阵容

MX61A提供了以下自动化控制功能:

  • 观察模式
  • Z轴对焦
  • 物镜倍率
  • 孔径光阑
  • 照明强度
  • 硬件自动对焦(选配)
  • DIC 棱镜调节(选配)
  • 扫描台控制(选配)

奥林巴斯的Stream软件不仅能够控制显微镜的基本操作,如活动图像预览和图像抓取等,通过屏幕上软件的调节还可以控制诸如自动对焦及进行DIC棱镜调节等更为复杂的操作。

主动式激光自动对焦

奥林巴斯全自动半导体检查显微镜 MX61A配备了主动式激光自动对焦装置,能够提高检查精度和速度。多点传感器可消除试样表面垂直不平整度带来的影响,显著提高稳定性,为您提供更快速、更具可再现性的结果。

易于使用的自动对焦控制功能

易于使用的自动对焦控制功能

先进的软件集成

奥林巴斯Stream软件与200mm或300mm的电动扫描台一起使用时,操作员能够很轻松地拼接单个视场外的多个图像,进一步扩展了图像采集和分析的可能性。

电动扫描台的直觉式控制

电动扫描台的直觉式控制

用于触摸控制的手持控制器

奥林巴斯全自动半导体检查显微镜MX61A通过这款符合人体工程学原理的手持控制器,操作员可使用按钮控制显微镜的多项电动功能,例如选择物镜和观察方法等。此外,操作员还可在“跟踪”和“单次对焦”之间切换自动对焦装置的工作模式,进行手动微调焦、微分干涉棱镜的延迟位置调节、控制光照强度、降低载物台以更换样品等。

通过手持控制器,使用按钮操作显微镜

通过手持控制器,使用按钮操作显微镜

观察影像实例

明视场观察暗视场观察 荧光观察微分干涉观察

明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察

近红外线观察(左)荧光观察 可见光线观察(右)

荧光观察 近红外线观察(左)和可见光线观察(右)的比较

提供扩展性的解决方案

提供扩展性的解决方案

适应分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模块
适应分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模块

"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。

实现对人和环境都没有危害的自动化

符合SEMI S2/S8标准

符合SEMI(SemiconductorEquipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。

可选的倾斜观察筒

倾斜观察筒示意图
倾斜观察筒示意图

备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

洁净对应的电动物镜转换器

洁净对应的电动物镜转换器
洁净对应的电动物镜转换器

备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。

高抗振本体

高倍率观察图像示意图
高倍率观察图像示意图

采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。

帮助实现多种观察的附件

晶圆搬送机组合

晶圆搬送机
晶圆搬送机

可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用,实现了对90 μm极薄晶圆的搬送,能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

自动载物台组合

自动载物台
自动载物台

备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现高级检查、不良分析功能。

奥林巴斯MX61A全自动半导体检查显微镜尺寸图

MX61A全自动半导体检查显微镜外形尺寸图

MX61A全自动半导体检查显微镜外形尺寸图