奥林巴斯MX51半导体/FPD工业检查显微镜

奥林巴斯MX51半导体/FPD工业检查显微镜
奥林巴斯MX51半导体/FPD工业检查显微镜
  • 奥林巴斯MX51半导体/FPD工业检查显微镜
  • 具有可扩展性,以用于厚样品的检查
  • 奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX51尺寸图

Olympus MX51产品特性

  • MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求
  • 专用为电子装置生产环境设计
  • 静电放电(ESD)
  • MX51显微镜的机身和150mm的载物台都做有防静电涂层,可快速消除静电,避免观察的样品被静电损坏。这款显微镜还可完全升级为ESD保护型。
  • 具有可扩展性,以用于厚样品的检查
  • 符合SEMI S2/S8,增强了安全性且更符合人体工程学设计原理
  • MX51系列显微镜符合多项国际行业标准,可保证一流的可靠性

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奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求

为用户提供最高的效率

满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。

正是牢记这一点,奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、更高效。同时,当将显微镜成功集成应用到生产线上,操作舒适性等人体工程学问题与晶圆安全问题就显得尤为重要,我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、平板显示器和电子设备等在内的多个行业,提供新构思、解决方案和技术支持。

MX51

这款经济高效的显微镜能够检查多种器件和晶圆(尺寸不超过150mm)。调焦机构和照明强度控制装置相互紧挨,可使用同一只手操作。符合SEMIS2/S8,增强了安全性和可靠性。

MX51半导体/FPD检查显微镜

MX51显微镜——用于电子装置检查

专用为电子装置生产环境设计

静电放电(ESD)

MX51显微镜的机身和150mm的载物台都做有防静电涂层,可快速消除静电,避免观察的样品被静电损坏。这款显微镜还可完全升级为ESD保护型。

具有可扩展性,以用于厚样品的检查

随着电子装置越来越具多样化,各种不同尺寸的样品需要检测。这款显微镜的标准最大样品厚度为30mm,但通过插入中间附件,还可检测更厚的样品。(定制规格)。

具有可扩展性,以用于厚样品的检查

结构灵活,可检测更厚的样品

符合SEMI S2/S8,增强了安全性且更符合人体工程学设计原理

MX51系列显微镜符合多项国际行业标准,可保证一流的可靠性。

MX51系列显微镜——易于操作

检测速度更快,确保生产更高效和生产能力更高

直观的载物台设计

奥林巴斯提供了150mm和100mm两种规格的载物台。150mm载物台带有内嵌离合杆,可以快速地粗调/微调载物台,以对准载物台上的样品,调节时操作人员的双眼无需离开目镜,减少了工作疲劳。

考虑了检查效率的设计

高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄
内置离合器的载物台手柄

MX51主要操作部件集中在前面,操作人员易于操作,即使长时间操作也不会感到疲劳。专用150mm载物台内置离合器,可实现轻松移动。

物镜转盘带有编码,可在屏幕上提供物镜信息

奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX51的物镜转换器带有编码,物镜倍率可在奥林巴斯的Stream软件系统上显示,或是若使用单独显示型摄像头配置,也可在屏幕上直接显示。这样,您可以在观测过程中监测及连同图像一起记录放大倍率。这一便捷的功能是由手动编码的物镜转盘实现的。

带有编码的物镜转盘和控制单元

带有编码的物镜转盘和控制单元

使用电动物镜转盘,可直接切换物镜

MX51可搭载多种电动物镜转盘。使用外部手持控制器,可以直接选择所需的物镜,或是也可使用奥林巴斯的Stream软件,控制物镜选择。MX51还带有一个能够对中的电动物镜转盘,以实现高精度定位(建议高倍率时使用)。

MX51显微镜——拥有失效分析所需的最佳光学质量

可通过多种观察方法检测细微缺陷

先进的UIS2光学系统,提供精确的缺陷检测性能

整个MX系列显微镜都可提供更明亮的明视场和暗视场观察,并提高了检测灵敏度,因此,缺陷检测速度更快,并可确保检测失误更少。MX系列显微镜在观测小直径晶圆时,能够实现更高的精度。这些小型晶圆被广泛用于当前越来越小巧的传感器和高性能电子设备上。

从可见光观察到荧光和近红外观察,拥有多种观察方法

通过标准照明装置(BX-RLA2),可进行近红外观察,此外,该系列显微镜还提供了明视场、暗视场、DIC和简易偏振光观察模式。用户还可选择万能型的BX-URA2型照明装置,进行荧光观察。

透射光观察

透射光照明装置与150mm的载物台一起使用时,可在透射光明场观察模式下检查最厚2mm的试样,透射照明的范围为100mm x100mm。整个照明装置外形纤巧,对载物台操作的影响极小,在检测MEMS(微电子机械系统)传感器和其他光学/光电器件时非常有用。

透射照明模块

透射照明模块

观察影像实例

明视场观察暗视场观察微分干涉观察荧光观察

明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察

丰富的产品阵容,可按需选择

MPLAPON

平场复消色差透镜

MPLFLN

平场半复消色差透镜

MPLFLN-BD

明暗视场用平场半复消色差透镜

MPLFLN-BDP

反射偏振光用平场半复消色差透镜

LMPLFLN

长工作距离平场半复消色差透镜

LMPLFLN-BD

明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜

MPLN

平场消色差透镜

MPLN-BD

明暗视场用平场消色差透镜

SLMPLN

超长工作距离平场消色差透镜

LCPLFLN-LCD

液晶长工作距离平场半复消色差透镜

软件方案

使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可根据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

帮助实现多种观察方法的附件

近红外线观察单元

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,备有各种对应近红外线观察的单元。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元近红外线观察

近红外线观察单元 近红外线观察

荧光观察单元

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

荧光镜单元荧光观察

荧光镜单元 荧光观察

奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX51尺寸图

奥林巴斯半导体/FPD检查显微镜MX51尺寸图